宁波大学压电实验室一项发明专利获得授权

近日，宁波大学压电器件技术实验室一项“一种用于制造谐振器的小尺寸石英晶体基板的加工方法”的发明专利获得授权，专利号为ZL20101 0244250.1。

石英晶体谐振器是一种用于稳定频率和选择频率的重要电子元件。在无线通讯、广播电视、卫星通讯、导航、电子测量仪器、微机处理、数字智能仪表、钟表、汽车等各种军用和民用产品中得到了广泛的应用。随着电子产品不断向小型化方向快速发展，小尺寸石英晶体谐振器展现出来愈发重要的应用前景。在石英晶体谐振器的设计和制造中，谐振器的振动频率是最重要的性能参数，石英晶体基板的尺寸和谐振器的振动频率密切相关。

与传统谐振器相比，基于小尺寸石英晶体基板的谐振器单片加工效率不高，难度很大。目前主要采用先加工大晶片，然后在进行切割的方法制作。虽然该工艺可以合并许多工艺程序，提高加工效率，但是所得到的小晶片的频率参数与大晶片的频率参数有差异。而按照目前的方法无法对经过切割得到的小晶片频率参数进行精确估计，从而也无法保证经过切割得到的小晶片为合格的晶片。

本发明提供了一种可使切割得到的小晶片的振动频率满足设计频率要求，即保证切割得到的小晶片为设计的合格晶片的用于制造谐振器的小尺寸石英晶体基板的加工方法。该方法设定了石英晶体基板的振动频率 与其尺寸之间的关系式，通过该关系式可得出晶体基板的振动频率与其尺寸之间的关系，可以根据预先的设计频率确定小尺寸石英晶体基板的尺寸，并进一步确定待加工的大尺寸石英晶体基板的尺寸和振动频率，使切割得到的小尺寸石英晶体基板的振动频率满足设计频率要求，保证最终得到的小尺寸石英晶体基板即为合格晶片：该方法提高了加工频率，同时也降低了小尺寸石英晶体基板的加工难度。

此项专利的获批意味着宁波大学压电实验室成功开发了具有自主知识产权的用于制造谐振器的小尺寸石英晶体基板的加工方法，为推动小尺寸谐振器技术进步提供了有力的支撑，填补了国内在小尺寸谐振器领域的技术空白，推动谐振器在相关领域的进一步广泛应用。

此外，据悉宁波大学压电器件技术实验室此前已经在谐振器研究领域获得2项软件著作权和1项发明专利，目前还有一项正在专利审查中。这些成果表明宁波大学压电器件技术实验室在谐振器领域已经取得了阶段性进展，在国内谐振器领域具有了一定的学术地位。